硅晶圆打孔制成平面紫外聚焦镜

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研究通过微孔阵列将硅晶圆转化为平面紫外反射镜,实现紧凑光学系统,但原文正文抓取失败,仅存标题信息。

来源:原文链接 (新窗口)

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